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晶圓檢查系統顯微鏡
AWL系列晶圓檢查系統
AWL系列晶圓檢查系統

產(chǎn)品型號:AWL046/AWL068/AWL812
發(fā)布時(shí)間:2020-12-3 11:16:28
訪(fǎng)問(wèn)次數:3486 次

晶圓檢查系統顯微鏡-AWL系列晶圓檢查系統介紹

AWL系列晶圓檢查系統兼具穩定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合在前道到后道工程的晶圓檢查。

目前,AWL系列晶圓搬運機擁有AWL046、AWL068,AWL812三種種機型,分別可適用于 4/6 英寸晶圓檢測,6/8 英寸晶圓檢測,8/12英寸晶圓檢測,其適應范圍廣,且搭配靈活 ,可自由設置的檢查模式,充分符合人機工程學(xué)設計,操作舒適、簡(jiǎn)便。

AWL系列晶圓檢查系統優(yōu)勢

●360°宏觀(guān)檢查

AWL 系列晶圓檢查系統具有宏觀(guān)檢查手臂,可以實(shí)現晶面宏觀(guān)檢查、晶背宏觀(guān)檢查1的360°旋轉,更為容易發(fā)現傷痕和微塵。通過(guò)操作桿可隨意將晶圓傾斜觀(guān)察。晶面傾斜角度≤70°,晶背1傾斜角度≤90°,晶背2傾斜角度≤160°,利用旋轉功能、傾斜 角度,完全可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。

●人機工程學(xué)設計

晶圓檢查系統的LCD顯示屏,可為操作者提供更直觀(guān)的視覺(jué)體驗,可清晰的顯示當前檢查項目及次序,調試參數一目了然。

晶圓檢查系統的手動(dòng)快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率。

晶圓缺陷檢查應用案例

AWL系列晶圓檢查系統技術(shù)規格


型號

AWL046

AWL068

晶圓尺寸(SEMI 規格)

150mm/125mm/100mm

200mm/150mm

晶圓最小厚度

150μm

180μm

開(kāi)放式片盒(SEMI Stad.25(26)-slot)

片盒數量

1 Port

檢查模式設置  

全檢 / 奇數檢 / 偶數檢 / 手動(dòng)選擇

片盒內晶圓掃描

晶圓預定位

晶圓定位

非接觸式定位平邊 /V 型槽,支持    0°、90°、180°、270°朝向設置

檢查功能

微觀(guān)檢查

晶面宏觀(guān)檢查

晶背宏觀(guān)檢查 1

晶背宏觀(guān)檢查 2

適配顯微鏡

SOPTOP金相顯微鏡MX68R

載物臺

6 英寸四層機械移動(dòng)平臺,低手位    X、Y 方向同 軸調節 ;晶圓承片臺,可 360°旋轉    ;移動(dòng)行程228mm(X 方 向 )×170mm(Y 方 向 ) 觀(guān) 察 范 圍 :
 170mmX170mm ;帶 離 合 器 手 柄, 可 用 于 全 行    程范圍內快速移動(dòng) ;

8 英寸四層機械移動(dòng)平臺,低手位    X、Y 方向同 軸調節 ;晶圓承片臺,可 360°旋轉 , 移動(dòng)行程280mm(X 方向)×210mm(Y 方向)觀(guān)察范圍 :
 210mm×210mm ;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動(dòng) ;

電源

1P/220V/16A

真空源

—70KPA

大家想了解更多配置參數,歡迎大家致電科技,真誠感謝您的瀏覽,期待光臨



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