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鋼絲粗糙度分析系統
鋼絲粗糙度分析系統

發(fā)布時(shí)間:2018-7-2 13:57:43
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鋼絲粗糙度分析系統介紹

鋼絲粗糙度分析系統

它是專(zhuān)門(mén)分析測量鋼絲表面粗糙度而量身定制的產(chǎn)品。它是基于強大的圖像處理分析平臺,集圖像采集、圖像處理、測量與分析、 可定制報告為一體,大大提高工作效率。內嵌多種功能:EFI、MIA、三維表面顯 示、劃痕去除、顆粒自動(dòng)尋邊等等功能。

支持鋼絲粗糙度測量的同時(shí),內置層深長(cháng)度測量、相含量分析、顆粒與孔 隙分析軟件包。

鋼絲粗糙度分析系統主要用于半導體行業(yè)的硅片切割線(xiàn)的檢測,同時(shí)也可適于用鋼 連線(xiàn)的粗糙度測量。

1、  軟硬件集成一體化系統

本系統是具有圖像采集、圖像處理、自動(dòng)識別與測量、分析統計、自動(dòng)生 成報告、外圍硬件控制等功能的一體化的圖像系統。

2、  批量化圖像獲取歸檔

實(shí)現“實(shí)時(shí)預覽、快速抓拍、疊加標尺、信息標注、識別測量、分析統計、保存歸檔”檢驗過(guò)程的流程化;提供批量拍照、批量標注、批量保存、批量合并等多圖批處理功能,讓檢驗過(guò)程更加方便。

3、強大的圖像處理、圖像矯正功能

圖像增強、反差調整、色彩分離、多通道色彩合成、圖像矯正、劃痕污跡 處理;圖像標注、圖層合并、圖像數據庫;方便的標尺工具。

4、  超景深觀(guān)察(EFI)

強大的景深擴展功能(EFI),突破光學(xué)顯微鏡的景深限制,獲得全視場(chǎng)清晰圖像;解決高倍下鋼絲邊沿的拍照問(wèn)題。

5、體式偏移校正景深觀(guān)察(OffsetEFI)

針對體視鏡的特殊光路,系統自動(dòng)修正體式成像中的偏移現象,保證景深擴展的效果;

6、實(shí)時(shí)景深擴展(LiveEFI)

智能化的實(shí)時(shí)景深擴展功能(LiveEFI),良好的操作體驗;只需要調節焦距, 系統自動(dòng)記錄清晰區域,自動(dòng)實(shí)現超景深拍照。

7、大視野圖像采集(MIA)

自動(dòng)圖像拼接功能(MIA),擴大顯微鏡的視場(chǎng)限制,獲取平滑過(guò)度的大視野圖像;可用于高倍下鋼絲邊沿全貌圖,缺陷分析等等。

8、實(shí)時(shí)圖像拼接(LiveMIA)

智能化的實(shí)時(shí)圖像拼接功能(LiveMIA),良好的操作體驗,突破視野限制。只要移動(dòng)載物臺,系統自動(dòng)記錄掃描過(guò)的區域,無(wú)需拍照,自動(dòng)獲取大視野圖像。

9、目標顆粒自動(dòng)尋邊(ATE)

根據顏色差別,自動(dòng)尋找顆粒邊界;

10、3D表面形貌與3D測量(3D)

3D表面形貌、表面細節等多種瀏覽方式(3DSurface);加配AUTOZ模塊可實(shí) 現3D測量(3D Measure)。如:3D模式下測量凹槽深度;

11、鋼絲粗糙度分析算法

專(zhuān)為貝卡爾特Bekaert特種鋼絲粗糙度分析方法設計;高精度粗糙度計算 方法,自動(dòng)擬合當前弧線(xiàn)的曲率半徑,獲取更準確的粗糙度。同時(shí)計算出 Ra、Rz、dp%等多個(gè)參數。支持多段弧測量統計、批量提取、自動(dòng)形態(tài)學(xué)等功能。

12、粗糙度曲線(xiàn)顯示

可細致觀(guān)察指定范圍粗糙度曲線(xiàn)圖,更直觀(guān)、更準確。

13、支持旋轉臺測量和常規臺拼接測量

支持旋轉臺多段弧測量,同時(shí)支持常規臺拼接整個(gè)鋼絲表面進(jìn)行測量。整圖測量能反映整個(gè)鋼絲相貌,更直觀(guān)更準確。

14、鋼絲粗糙度報告

專(zhuān)門(mén)為鋼絲粗糙度檢測定制的報告格式,圖文并茂,可以瀏覽鋼絲一個(gè)截 面的分析全貌。同時(shí)輸出統計數據,包括曲率直徑、Rz、Ra、dp%等多個(gè) 參數。

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